현미경코리아

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작성자 현미경코리아(ip:121.166.55.128)

작성일 2010-10-27

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유리에 이방성 식각한 다음, 그것을 다시 세라믹화시켜 만든 전자선리소용 옥타폴제조를 위한 세라믹 구조체다.

유리에 임의의 형상으로 마이크로머시닝을 할 수 있으며, 홀을 만드는 경우 300um두께에 20um정도의 홀을 제조하는 것이 가능하다.

다른 공법과 병용 시 10um이하의 홀도 형성할 수 있다

첨부파일 20090304_048.jpg

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